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                        宇邦 >> 技术中心 >> 集成电路(DRAM)对EDI超纯水设备产水水质的要求

                        集成电路(DRAM)对EDI超纯水设备产水水质的要求

                        日期:12-11-26 来源:原创 作者:zqyb-water

                        集成电路(DRAM)集成度

                        16K

                        64K

                        256K

                        1M

                        4M

                        16M

                        相邻线距(μm)

                        4

                        2.2

                        1.8

                        1.2

                        0.8

                        0.5

                        细菌(CFU/100ML)

                        100

                        50

                        10

                        5

                        1

                        0.5

                        电阻率(MΩ.cm,25)

                        16

                        17

                        17.5

                        18

                        18

                        18.2

                        TOC(ppb)

                        1000

                        500

                        100

                        50

                        30

                        10

                        DO(ppb)

                        500

                        200

                        100

                        80

                        50

                        10

                        Na+(ppb)

                        1

                        1

                        0.8

                        0.5

                        0.1

                        0.1

                        微粒直径(μm)

                        0.4

                        0.2

                        0.2

                        0.1

                        0.08

                        0.05

                        微粒个数(PCS/ml)

                        100

                        100

                        20

                        20

                        10

                        10

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